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上海富乐德智能科技发展有限公司ETCH洗净项目竣工投产暨洗净检测中心成立仪式隆重举行!
2019-11-08

     2019年11月07日下午2:18时,在这秋高气爽、硕果飘香的金秋时节,这个标志FERROTEC洗净项目在中国发展又迈上了一个新台阶的美好日子里,上海富乐德智能科技发展有限公司蚀刻(ETCH)洗净项目竣工投产暨洗净检测中心成立仪式如期举行。

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    参加竣工投产典礼仪式的主要领导和嘉宾有:

    日本磁性技术控股股份有限公司代表取缔役副社长、FERROTEC中国董事局主席兼上海富乐德智能科技发展有限公司董事长 贺贤汉;

    日本磁性技术控股股份有限公司代表取缔役副社长 山村丈;

    日本磁性技术股份有限公司社长 小松 辉寿;

    美国磁性技术股份有限公司 CEO 宫永 英治;

    上海申和热磁电子有限公司总经理 郭建岳;

    安徽富乐德科技发展有限公司兼上海富乐德智能科技发展有限公司总经理王哲;

    应邀出席今天竣工成立仪式的还有半导体行业客户代表、FERROTEC集团相关领导及员工代表。

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    上海富乐德智能科技发展有限公司总经理王哲首先介绍ETCH洗净项目竣工投产及洗净检测中心组建情况,上海富乐德ETCH洗净项目员工代表王成明代表全体员工发言并宣誓表决心。日本磁性技术控股股份有限公司代表取缔役副董事长、FERROTEC中国董事局主席贺贤汉先生致辞。

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    主席台领导为上海富乐德智能科技发展有限公司上海ETCH洗净竣工投产暨洗净检测中心成立剪彩,将仪式推向高潮。随后王哲总经理陪同集团领导及来宾参观洗净检测中心,贺贤汉主席、山村 丈副社长为洗净检测中心开业揭幕并陪同来宾参观ETCH洗净研发中心。

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项目介绍

     上海富乐德智能科技发展有限公司系安徽富乐德科技发展有限公司投资,该公司自2019年6月建设至今开业投产历时5个月 ,目前已建成2条先进制程ETCH洗净生产线和半导体检测分析中心。

    公司采用国际领先的半导体部件表面处理技术,专注于高阶制程蚀刻部件的清洗及翻新业务。2020年将完成10nm制程ETCH部件洗净技术的导入。先进制程ETCH洗净生产线无论在硬件或软件系统,包括产线布局,微污染管控,测量数据自动化等方面,都进行了全面升级,所有产品均在1OO级净空房内进行作业,在10级的洁净空间取样,并完成PPT等级的定量残留物分析,以满足10nm及以下 ETCH装置的清洗要求,通过以上产业升级,将极大提升洗净产品的可靠性与稳定性,确保上海富乐德智能科技发展有限公司在专业半导体洗净领域的技术主导地位。

    上海富乐德洗净检测分析中心,将对标国际一流半导体分析实验室,将其建设成为中国第一家高规格,高标准,高能力的半导体检测分析国家重点实验室,以填补中国在微污染定量分析领域综合检测实验室的空白。同时要成为国内第一家被全球前三大半导体设备制造商认证通过的检测机构。

    上海富乐德实验室拥有电感偶合等离子体质谱仪,离子色谱,气相色谱,扫描电子显微镜,3D激光显微镜及能谱仪,全自动电位滴定仪,傅立叶变换红外光谱仪,热脱附-气相色谱/质谱联用等精密分析检测设备。能够提供形貌表征和微污染定量分析检测服务。例如对水/气体中的元素和离子进行定量分析,对部品表面金属污染,化学残留,有机污染,颗粒污染等进行分析检测;同时实验室也将承担起新产品,新工艺开发时的分析保障工作,并为高阶制程清洗工艺的稳定性,可靠性保驾护航,以满足日益发展的高端半导体洗净市场的需求。

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