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精密石英
Thermoelectric semiconductor cooler
精密石英

精密石英

Ferrotec(中国)精密石英采用高品质进口原材料,经过一系列的先进加工工艺处理而成,历经20余年的研发生产,Ferrotec可批量生产12",8"以及8"以下半导体装置用石英制品,并具备下一代18"石英产品的研发能力。同时能够根据客户要求选用合适的原材料进行加工生产。
精密石英分类
Ferrotec(中国)为满足客户需求,可生产多种多样的石英产品,依托精密的加工技术、焊接技术、表面处理(洗净)技术三大核心技术优势以及具有全球视野的专业技术团队支持,为客户量身打造具有世界一流品质的产品。
石英管类
石英管类
主要包括反应管,内管,外管,炉管,喷射管等产品;主要应用于半导体扩散、氧化、成膜、热处理等硅片表面处理工艺设备,对装配尺寸、洁净度、密封度有较高的要求。
石英舟类
石英舟类
分为5寸,6寸,8寸,12寸各类规格舟,应用于各类表面处理工艺设备、湿法洗净工艺中,舟类产品直接装载硅片,并大多应用于自动上下片工艺中,所以石英舟的尺寸精度和洁净度非常重要。
石英机加工类
石英机加工类
包括各种环、圆盘等产品,主要应用于半导体硅片刻蚀、沉积等工艺,对尺寸精度、洁净度、外观状态等方面的要非常高,部分产品不允许返修,必须一次成型,所以对加工能力要求高。
石英治具类
石英治具类
主要有装载盘、底座、封盖等产品;应用于各种半导体处理工艺的辅助设备中,其精度视应用的工艺而定。
石英洗净类
石英洗净类
包括石英槽、石英支架等产品,主要应用于半导体湿法洗净工艺,精度相对不高,但对外观、洁净度有较高的要求。
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联系电话: 0571-86698292
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耐热性
耐热性
透光性
透光性
高纯度
高纯度
电气绝缘
电气绝缘
化学稳定
化学稳定
Ferrotec精密石英优点
耐热性、透光性、高纯度、电气绝缘、化学稳定高。高精度的石英制品不仅为300nm半导体芯片制程提供可靠保障,也能满足太阳能光伏行业在扩散制程中对低铁、低铜的要求,被广泛应用于半导体扩散刻蚀工艺、光纤预制棒加工、LED照明制造及太阳能光伏等工业领域。
Matrix diagram of applications in various fields
各领域的应用之矩阵图
半导体相关
精密石英

半导体晶圆制作扩散,刻蚀等工艺;

半导体晶圆湿法洗净工艺;

半导体硅片外延EPI等工艺;

LED制作外延MOCVD,芯片工艺;

光纤预制棒:制造过程中的炉心管、喷灯,配套紧固件;

该产品的生产基地
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