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硅熔接和硅精制品系列
Si Fusion and Si Parts Products
精密硅部件

Ferrotec系列:硅熔接产品与硅制精密产品

Ferrotec(中国)硅熔接和硅精制品致力于为半导体硅片处理工艺中提供最为理想的硅片承载工具,减少硅片金属污染,错位等缺陷,以及为最前沿的工艺提供突破性解决方案。主要为硅片高温处理和LPCVD沉积工艺,提供高纯度的多晶硅舟,保温筒,喷射管等;为半导体蚀刻机提供硅环,showerhead等产品。
SiFusion产品
应用于各类半导体硅片表面处理工艺设备中,如氧化、退火、CVD工艺等。由于硅舟和硅片均使用高纯硅材料,具有相同的物理性质,因此可以避免因为热膨胀系数和热导系数不同,造成的晶格错位,提升硅片良率。Ferrotec针对客户工艺中的问题,对产品进行独特的设计,为客户解决硅片背面划伤,晶格位错,金属污染和颗粒问题。
长齿舟
长齿舟
熔接多晶硅舟是为扩散工艺设计的,可替代现有的石英和碳化硅产品,代表的是高纯度高性能的技术。它对消除颗粒至关重要。消除这些影响以提高良率,使得硅熔接舟成为新一代集成电路架构中重要的载体.
短齿舟
短齿舟
消除这些影响以提高良率,使得硅熔接舟成为新一代集成电路架构中重要的载体.
横型硅舟
横型硅舟
同时硅舟配套喷射管、保温桶及内管等辅助配套产品均可生产。
喷射管
喷射管
可与硅舟配套使用
保温桶
保温桶
可与硅舟配套使用
挡片
挡片
硅部件产品
Ferrotec(中国)精密硅制品采用德国Wacker,美国REC半导体级别的Floatzone等材料,生产加工成各种类型的硅部件,为客户的工厂的产能利用率、生产效率及产量提供更多优势。
硅聚焦环
硅聚焦环
主要规格有8寸与12寸,可按照客户要求加工不同尺寸和外观要求的硅环产品。应用于半导体硅片干法刻蚀工艺设备,FerroTec整合了硅材料拉制,产品加工和洗净,使得产品更具有品质,成本,交期和优势。
硅电极(分流盘)
硅电极(分流盘)
主要规格有8寸与12寸,可以按照客户要求进行不同气孔孔径的加工。应用于半导体硅片干法刻蚀工艺设备,具有自主单晶硅锭材料拉制能力及材料成本优势,以及拥有自主开发的洗净线,可满足该类产品较高的洁净度要求。
其他硅机加工类
其他硅机加工类
包括圆盘、硅板、籽晶等产品,主要应用于其他半导体工艺。可按照客户要求,进行高精度尺寸和外形加工。
SI原材料硅锭

SI原材料硅锭

单晶硅锭:大直径单晶硅棒,电阻率<0.1ohm-cm/1-5ohm,直径120-145mm。主要用于晶圆衬底片生产及硅质半导体是被损耗部件的制造。
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联系电话: 0571-88996352
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专利科技
专利科技
减少损伤
减少损伤
延长使用寿命
延长使用寿命
延长清洗周期
延长清洗周期
Ferrotec精密硅部件优点
采用专利科技,使用超高纯单/多晶硅材料; 能减少接触点损伤,防止晶粒错位及降低颗粒; 极大地延长例行清洗周期; 使用寿命延长,提升晶片合格率。
Matrix diagram of applications in various fields
各领域的应用之矩阵图
半导体相关
硅熔接和硅精制品系列

硅舟、喷射管、保温桶等高温炉具设备,主要用于半导体制程氧化、退火、CVD等工艺设备

硅环、硅电极等,应用于半导体硅片干法刻蚀工艺设备

各种圆盘、硅板、籽晶等产品,主要应用于其他半导体工艺

大直径单晶硅棒,主要用于晶圆衬底片生产及硅质半导体设备损耗部件的制造

该产品的生产基地
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