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石英坩埚
Thermoelectric semiconductor cooler
石英坩埚

石英坩埚

纯度高且耐热性强的石英坩埚在单晶硅的拉制过程中是必不可少的部件。石英坩埚的性能对单晶硅的成晶率有较大的影响,Ferrotec(中国)坩埚事业部一直围绕着如何提高客户的成晶率不断的进行技术革新,也取得了很大的突破。为了满足不同客户的多样性生产需求,我司研发出四大系列石英坩埚,应对客户不同的拉晶工艺。石英坩埚尺寸我们目前可覆盖14英寸到32英寸,并具备按照客户要求定制更大尺寸的技术能力。后工序加工我们历时三年开发出一套全自动化生产线,确保石英坩埚品质稳定。
石英坩埚系列
AQM-10系列,内壁含有透明层的天然石英坩埚;AQM-20系列,高纯天然石英坩埚,在AQM-10的基础之上增加高纯天然砂,内表面纯度较高;AQM-30系列,合成石英坩埚,内表面纯度更高,适用于高级别硅棒的拉制;AQM-40系列,内表面结晶化的天然石英坩埚,适应多次加料工艺,长时间使用。
AQM-10系列
AQM-10系列
适用于:太阳能单晶硅的拉制。
AQM-20系列
AQM-20系列
适用于:半导体和太阳能单晶硅的拉制,主推型号:AQM-21。
AQM-30系列
AQM-30系列
适用于:半导体单晶硅的拉制,主推型号:AQM-31。
AQM-40系列
AQM-40系列
适用于:太阳能和半导体单晶硅的拉制,主推型号:AQM-42。
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石英坩埚样册
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联系电话: 057186696188
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透明层中少气泡
为了达到透明中少气泡化,Ferrotec在熔融工艺以及设备性能上面不断探索,目前每个系列的主打型号均采用了少气泡化的工艺。
透明层中少气泡
内表面结晶化
关于内表面结晶化,Ferrotec研发出新型涂层工艺,AQM-40系列坩埚即使用此工艺。
内表面结晶化
内表面高度纯化
关于高纯度化,Ferrotec采用高纯度原材料,各工序严控金属元素污染源。后工序作业引进全自动化生产线以及净空房,保证生产过程不受杂质污染,严格保证石英坩埚的纯度。
内表面高度纯化
Ferrotec石英坩埚优点
透明层中少气泡和内表面结晶化以及内表面纯化,这三个技术要点是Ferrotec 生产出高品质石英坩埚的秘诀。 透明层中少气泡可以让坩埚适应长时间的拉制; 内表面结晶化,是在内表面形成一层致密的结晶层,防止石英结晶体脱落,隔绝石英坩埚与硅液的反应,提升单晶硅的成晶率; 内表面纯化,会让坩埚内表面不易失透,不影响单晶硅的成晶。
Matrix diagram of applications in various fields
各领域的应用之矩阵图
该产品的生产基地
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