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单晶炉
Thermoelectric semiconductor cooler
单晶炉

Ferrotec(中国)单晶炉

在惰性气体环境中,用石墨加热器将保存在石英坩埚内的多晶硅等多晶材料高温熔化,再将籽晶放入变成液体的硅溶液里按自动程序用直拉法生长无错位单晶的设备, 可控制整体装料量,全自动控制拉晶过程, 全面数字化管理,采用中央集中控制系统,减少了人为因素的参与,保证质量稳定性。
单晶炉分类
Ferrotec(中国)自主研发的半导体用单晶炉,采用龙门式框架结构,稳定性好刚性强,驱动装置采用电动、气动方式,光轴润滑采用自润滑轴承,避免油脂污染,全自动控制拉晶过程,嵌入长晶控制系统,整合功率器件用超低电阻率单晶量产技术,采用超导体磁场,可拉制8/12英寸晶棒。 不同型号的单晶炉在设备运作效率、机械部件结构等方面各有差异。
太阳能级单晶炉FT-CZ1200PV
太阳能级单晶炉FT-CZ1200PV
硅材料级单晶炉FT-CZ1200Si/1400Si
硅材料级单晶炉FT-CZ1200Si/1400Si
半导体级单晶炉FT-CZ1200SE/1400SE
半导体级单晶炉FT-CZ1200SE/1400SE
人性化设计
人性化设计
管理、操作及维护方便性
管理、操作及维护方便性
全自动、安全性、均一性
全自动、安全性、均一性
稳定、洁净
稳定、洁净
Ferrotec单晶炉优点
稳定、洁净;全自动、安全性、均一性;管理、操作及维护方便性;人性化设计。焊接工艺符合日本JIS标准,柔性设计具备双重防爆安全系数,特别增加安全泄压阀及提升防爆系统;远程控制插口可实现对多台设备的集中监控和管理;各操作参数及制程阶段人机界面触摸屏可实时显示并修改。
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单晶炉参数
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联系电话: 021-36160062
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Matrix diagram of applications in various fields
各领域的应用之矩阵图
该产品的生产基地
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