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磁流体真空密封传动装置
Vacuum transmission
磁流体真空密封转动装置
Ferrotec - 密封领域的全球领导者
磁流体真空传动装置是把旋转运动传入真空容器的一种部品解决方案,杜绝了气体泄漏和污染,适用于对密封要求很高的场合。如今,在许多需要自由控制进给的装置上,真空传动装置已得到广泛应用,如在硅生长、目标位置电子指示器、溅射、等离子蚀刻、化学气相淀积、离子移置技术、液晶再生过程中,减少了不必要的停机时间,具有特殊意义。
磁流体真空传动装置
从半导体制造业到航空航天业,Ferrotec的真空传动装置以苛刻环境中良好的密封性能而得到全球公认。 我们致力于为客户提供多种类型的真空密封装置,真空旋转密封装置,密封组件和密封件的集成,以及真空环境下密封传动问题的终极解决方案。
多轴密封传动装置
多轴密封传动装置
多轴密封传动装置主要为机械手而设计,这类产品广泛应用于半导体的加工和生产,同时我们也有10-8Torr的超高真空用密封装置。
集成电机磁流体真空传动装置
集成电机磁流体真空传动装置
Ferrotec提供的FerroDrive集成电机磁流体真空传动装置将一个密封Ferrofluidic真空磁流体、一个高精度电机以及控制器集成起来,为客户提供一件紧凑且高性能的密封旋转系统。这种设计根除了客户在联接分立部件时遭遇到的整合挑战以及潜在的机械故障点。同轴驱动磁流体装置经典应用领域包括:MOCVD、薄膜产业、光学镀膜、离子束沉积、离子束刻蚀、物理气相沉积、离子溅射、离子注入以及任何需要应用电机的场合,特别是需要伺服电机的场合。
空心轴密封传动装置
空心轴密封传动装置
空心轴密封传动装置有一个卡箍,它通过0型圈密封把用户轴和密封装置的转轴连在一起。运用的典型例子就是溅射设备,其中例如电子、中性子或离子的注入用旋转单元、旋转物架以及X射线和光学机器。空心轴密封传动装置有通孔型、法兰型等,也可以按照用户的要求进行特殊设计或不带卡箍。
实心轴密封传动装置
实心轴密封传动装置
我们有多重实心轴传动装置,例如:微型、通孔型、法兰型、重负载型,适用于各种场合。除小径的转轴外,转轴的动力装配部和用户安装部的形状有标准的键槽以外,还能根据用户的要求,设计、制造多重配合形式,如扁平面、螺纹连接、孔连接等。我们的标准公制密封传动装置也有适用于高温、重负载、高速场合时的水冷形式(除一些微型、通孔型磁性流体密封装置以外)
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联系电话: 0571-86699985
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磁流体真空传动装置特性
密封圈特性
磁性流体包围整个转轴,成为一个隔绝空气、水气、烟雾等元素的密封圈,几乎无泄漏,密封圈的泄漏微弱到无法测量,甚至使用质谱仪也无法测量(1*10-11torre/sec)
长寿命特性
“液体0型密封圈”由一个稳定的磁性流体构成,其装置可以长期使用10年无需维修。
良好可靠性
密封圈由永磁结构和稳定的磁性流体组成,所以机械磨损仅发生在轴承上。
无污染特性
因为密封圈无磨损,没有微粒产生,降低了整个系统的污染而且低的气压可使密封圈便于维修,其真空度可控制在8-10Torr。
最佳的力矩
传输特性
力矩可100%的输送,保证一个无阻碍的单项运动。
低阻尼和
高速旋转能力
磁性流体极低的粘滞阻力和磁性流体进给装置无需接触密封圈的结构,决定了他的稳定操作和高速转动。
磁流体真空传动装置定制
当因产品开发遇到技术瓶颈的时候,也许一个前所未有的真空传动装置就能助力度过难关。Ferrotec(中国)以客户为中心,我们的设计和制造能力能够保证根据客户的要求设计出适用于客户应用环境的产品。
Matrix diagram of applications in various fields
各领域的应用之矩阵图
真空技术相关
磁流体真空密封传动装置

硅生长;

MOCVD;

薄膜产业;

离子束沉积;

离子束刻蚀;

物理气相沉积;

离子溅射;

离子注入;

液晶再生过程;

离子移置技术;

真空镀膜设备;

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光纤预制棒气相沉积装备;

真空烧结;

光纤拉丝装备

新能源电池制造装备;

CT;

MRI核磁共振;

其它

该产品的生产基地
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