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精密洗净技术
精密洗净技术
为应对不断提升的半导体制程要求,依托美国、日本一流技术支持,成功完成陶瓷溶射工艺的研发并量产,拥有国际先进的洗净生产线,努力抢占半导体、TFT产业技术制高点。
技术发展路线 技术设备能力 生产工艺 实用新型国家专利
  • 2000

    表面处理事业部成立

  • 2001

    成功研发并量产350nm线宽半导体PVD、CVD制程部品洗净工艺并着手研发半导体ETC部门部品洗净工艺

  • 2003

    成功研发并量产250nm线宽半导体PVD、CVD、ETC制程部品洗净工艺;建立独立实验室,研发半导体更精进洗净工艺

    着手研发DIF、LIT部门制程部品洗净工艺

  • 2005

    开始涉足TFT部品洗净,成功完成半导体各部门机台部品洗净工艺并标准化

  • 2007

    为多家半导体及TFT厂提供部品清洗服,完善TFT制程部品洗净工艺

  • 2011

    成立第一家子公司-----天津富乐德科技发展有限公司

  • 2013

    成功量产45nm线宽半导体制程部品洗净技术,成功量产8.5代线TFT部品清洗技术

  • 2015

    成立第二家子公司----四川富乐德科技发展有限公司,成功研发并量产28nm线宽半导体制程部品洗净技术

  • 2017

    第三家子公司----富乐德科技发展(大连)有限公司正式投入生产,研发并量产10.5代LCD部品洗净工艺;完善陶瓷溶射工艺并实现量产

    着手研发6代OLED制程部品洗净工艺,着手研发半导体16nm制程部品洗净工艺

  • 2018

    富乐德(大连)建立大连工厂表面处理分析实验室雏形,投入超声波断层扫描显微镜,CMM,He detector,电位滴定仪,LPC及ICP MS等高科技设

    并建立高纯石英线,高端设备上线

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